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    CMOS-Integrated Aluminum Nitride MEMS: A Review.
    Pinto, Rui M. R. ; Gund, Ved ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-08-01), Heft 4, S. 500-523
    Online academicJournal
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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection.
    Wang, Xiaoyi ; Lee, Yi-Kuen ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-08-01), Heft 4, S. 506-512
    Online academicJournal
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning.
    Lin, Yi-Chung ; Chung, Vincent P. J. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 978-983
    Online academicJournal
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips.
    Tsiamis, Andreas ; Li, Yifan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 1245-1252
    Online academicJournal
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator.
    Okamoto, Yuki ; Ryoson, Hiroyuki ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), Heft 1, S. 86-94
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754
    Online academicJournal
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    Integration of Boron-Doped Diamond Microelectrode on CMOS-Based Amperometric Sensor Array by Film Transfer Technology.
    Hayasaka, Takeshi ; Yoshida, Shinya ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 958-967
    Online academicJournal
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    Two-Dimensional CMOS MEMS Thermal Flow Sensor With High Sensitivity and Improved Accuracy.
    Xu, Wei ; Wang, Xiaoyi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-04-01), Heft 2, S. 248-254
    Online academicJournal
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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control.
    Hsu, Cheng-En ; Li, Wei-Chang
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), Heft 6, S. 1415-1417
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- \mu \textm CMOS Chips.
    Cheng, Zhengxi ; Toshiyoshi, Hiroshi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), Heft 6, S. 1435-1441
    Online academicJournal
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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors.
    Ng, Doris K. T. ; Wu, Guoqiang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 1199-1207
    Online academicJournal
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    CMOS Neural Probe With 1600 Close-Packed Recording Sites and 32 Analog Output Channels.
    Sayed Herbawi, Abdalrahman ; Christ, Olaf ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2018-12-01), Heft 12, S. 1023-1034
    Online academicJournal
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    A CMOS-MEMS Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensor With Temperature Compensation.
    Xu, Wei ; Ma, Shenhui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 841-849
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    CMOS Compatible Hermetic Packages Based on Localized Fusion Bonding of Fused Silica.
    Du, Lin ; Allen, Mark G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-08-01), Heft 4, S. 656-665
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process.
    Edrees, Hassan M. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), Heft 4, S. 846-858
    Online academicJournal
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology.
    Xu, Wei ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), Heft 5, S. 954-962
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka-Band Tunable Filters.
    Asadi, Mohammad Javad ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 910-918
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    Curvature of BEOL Cantilevers in CMOS-MEMS Processes.
    Valle, Juan ; Fernandez, Daniel ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), Heft 4, S. 895-909
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias.
    Du, Yuxin ; Wu, Dong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), Heft 4, S. 770-779
    Online academicJournal
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