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    Synthesis of nanostructured based carbon nanowalls at low temperature using inductively coupled plasma chemical vapor deposition (ICP-CVD).
    Shoukat, Rizwan ; Khan, Muhammad Imran
    In: Microsystem Technologies, Jg. 25 (2019-12-01), Heft 12, S. 4439-4444
    Online academicJournal
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    Carbon nanotubes with adsorbed Au nanoparticles for sensing propanone gas.
    Lam, Artde Donald Kin-Tak ; Lin, Zheng-Dong ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 28 (2022), Heft 1, S. 209-212
    Online academicJournal
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    Ammonia gas sensors with Au-decorated carbon nanotubes.
    Young, S. J. ; Lin, Z. D.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 24 (2018-10-01), Heft 10, S. 4207-4210
    Online academicJournal
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    Carbon nanotubes: a review on properties, synthesis methods and applications in micro and nanotechnology.
    Shoukat, Rizwan ; Khan, Muhammad Imran
    In: Microsystem Technologies, Jg. 27 (2021-12-01), Heft 12, S. 4183-4192
    Online academicJournal
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    Ion sensitive field effect transistor based on graphene and ionophore hybrid membrane for phosphate detection.
    Kim, Jungyoon ; Wang, Li ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 25 (2019-09-01), Heft 9, S. 3357-3364
    Online academicJournal
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    Ethanol gas sensors based on multi-wall carbon nanotubes on oxidized Si substrate.
    Young, S. ; Lin, Z.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 24 (2018), Heft 1, S. 55-58
    Online academicJournal
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    Study on TSV isolation liners for a Via Last approach with the use in 3D-WLP for MEMS.
    Hofmann, Lutz ; Fischer, Tobias ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 22 (2016-07-01), Heft 7, S. 1665-1677
    Online academicJournal
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    Fabrication and micromechanical characterization of polycrystalline diamond microcantilevers.
    Possas, Maira ; Rousseau, Lionel ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 22 (2016-03-01), Heft 3, S. 609-615
    Online academicJournal
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    Machining of micro-systems.
    Denkena, Berend ; Hoffmeister, Hans-Werner ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 14 (2008-11-01), Heft 12, S. 1909-1916
    Online academicJournal
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