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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics Processing & Phenomena, Jg. 7 (1989), Heft 1, S. 93-97academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 25 (2007), Heft 1, S. 102-105academicJournalZugriff: