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    Replacement of Waveguides by a Resonant Cavity in a Microwave CVD Reactor.
    Isoldi, Mauricio ; Ozono, Edson Moriyoshi ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 49 (2021-09-15), Heft 9, Part 2, S. 2718-2721
    Online academicJournal
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    Two-Dimensional Spatial Profile of Volume Fraction of Nanoparticles Incorporated Into a-Si:H Films Deposited by Plasma CVD.
    Nakamura, William Makoto ; Miyahara, Hiroomi ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 36 (2008-08-01), Heft 4, S. 888-889
    Online academicJournal
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    Surface Modification of Si Wafer by Low-Pressure High-Frequency Plasma Chemical Vapor Deposition Method.
    Yuji, Toshifumi ; Mungkung, Narong ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 39 (2011-06-01), Heft 6, S. 1427-1431
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Visualizing the Evolution of Surface Morphology and Surface Bond Strain During Plasma Deposition of Amorphous Silicon Thin Films.
    Valipa, Mayur S. ; Aydil, Eray S. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 33 (2005-04-01), Heft 2, S. 228-229
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Wettability of Amorphous Diamond-Like Carbons Deposited on Si and PMMA in Pulse-Modulated Plasmas.
    Sung, Ta-Lun ; Yang, Jason Hsiao-Chun ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 40 (2012-07-01), Heft 7, S. 1837-1842
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Visualizing the Evolution of Surface Bond Straining During Radical-Surface Interactions in Plasma Deposition Processes.
    Sriraman, Saravanapriyan ; Aydil, Eray S. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 30 (2002-02-01), Heft 1, S. 112-113
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    In-Line Plasma-Chemical Etching of Crystalline Silicon Solar Wafers at Atmospheric Pressure.
    Linaschke, Dorit ; Leistner, Matthias ; et al.
    In: IEEE Transactions on Plasma Science, Jg. 37 (2009-06-01), Heft 6, S. 979-984
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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