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    CMOS-Integrated Aluminum Nitride MEMS: A Review.
    Pinto, Rui M. R. ; Gund, Ved ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-08-01), Heft 4, S. 500-523
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator.
    Okamoto, Yuki ; Ryoson, Hiroyuki ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), Heft 1, S. 86-94
    Online academicJournal
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    Investigation of Multimodal Electret-Based MEMS Energy Harvester With Impact-Induced Nonlinearity.
    Tao, Kai ; Tang, Lihua ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 27 (2018-04-01), Heft 2, S. 276-288
    Online academicJournal
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    A CMOS Compatible Ultrasonic Transducer Fabricated With Deep Reactive Ion Etching.
    Rufer, Libor ; Domingues, Christian C. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-12-01), Heft 6, S. 1766-1776
    Online academicJournal
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    Theoretical Modeling, Numerical Simulations and Experimental Study of Micro Thermal Convective Accelerometers.
    Wang, Xiaoyi ; Xu, Wei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 790-798
    Online academicJournal
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    Bi-Stable Aluminum Nitride-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT).
    Schneider, Michael ; Dorfmeister, Manuel ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 948-953
    Online academicJournal
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    All-Silicon Technology for High- $Q$ Evanescent Mode Cavity Tunable Resonators and Filters.
    Arif, Muhammad Shoaib ; Peroulis, Dimitrios
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 727-739
    Online academicJournal
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    A Vertically Coupled MEMS Resonator Pair for Oscillator Applications.
    Li, Ming-Huang ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), Heft 3, S. 528-530
    Online academicJournal
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