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    Preparation of CNx Films by RF Reactive Sputtering : Effects of Sputtering Gas on the Hardness and Friction Coefficient
    Tomoyasu, SHIROYA ; Yukihiro, SAKAMOTO
    In: 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌, Jg. 53 (2016), Heft 2, S. 56-60
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of CNx Films by RF Reactive Sputtering : Effects of Sputtering Gas on the Hardness and Friction Coefficient
    Tomoyasu, SHIROYA ; Yukihiro, SAKAMOTO
    In: 材料の科学と工学 : 日本材料科学会誌, Jg. 53 (2016), Heft 2, S. 56-60
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    N₂ or H₂/Isobutane Supermagnetron Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous CNx Films for Application to Elementary Amorphous CNx:H/p-Si Photovoltaic Cell
    Kinoshita, Haruhisa ; Ninomiya, Yosuke ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics : JJAP, Jg. 52 (2013-11-01), Heft 11, S. 1-6
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    N₂ or H₂/Isobutane Supermagnetron Plasma Chemical Vapor Deposition of Hydrogenated Amorphous CNx Films for Application to Elementary Amorphous CNx:H/p-Si Photovoltaic Cell
    Kinoshita, Haruhisa ; Ninomiya, Yosuke ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics : JJAP, Jg. 52 (2013-11-01), Heft 11, S. 1-6
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Plasma-CVD SiNx/Plasma-polymerized CNx: H Multi-layer Passivation Films for Organic Light Emitting Diodes
    邦夫, 明渡 ; 篤志, 三浦 ; et al.
    In: 豊田中央研究所R&Dレビュー = R&D review of Toyota CRDL / R&Dレビュー編集委員会 編, Jg. 40 (2005-09-01), Heft 3, S. 40-44
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Plasma-CVD SiNx/Plasma-polymerized CNx: H Multi-layer Passivation Films for Organic Light Emitting Diodes
    邦夫, 明渡 ; 篤志, 三浦 ; et al.
    In: 豊田中央研究所R&Dレビュー = R&D review of Toyota CRDL / R&Dレビュー編集委員会 編, Jg. 40 (2005-09-01), Heft 3, S. 40-44
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Structure and Chemical Bonds CNx Films Deposited by Alternating Irradiations of Mass-Separated Ion Beams of C〔+〕 and N〔+〕
    Yamamoto, Kazuhiro
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 44 (2005-04-01), Heft 4A, S. 1879-1882
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Structure and Chemical Bonds CNx Films Deposited by Alternating Irradiations of Mass-Separated Ion Beams of C〔+〕 and N〔+〕
    Yamamoto, Kazuhiro
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 44 (2005-04-01), Heft 4A, S. 1879-1882
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A new locus cnx 3 involved in molybdenum cofactor biosynthesis in rice(Oryza sativa L.)
    宏之, 佐藤 ; 真比古, 一井
    In: 育種学雑誌 = Breeding science / 日本育種学会 編, Jg. 48 (1998-06-01), Heft 2, S. 123-128
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A new locus cnx 3 involved in molybdenum cofactor biosynthesis in rice(Oryza sativa L.)
    宏之, 佐藤 ; 真比古, 一井
    In: 育種学雑誌 = Breeding science / 日本育種学会 編, Jg. 48 (1998-06-01), Heft 2, S. 123-128
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Hardness and Structure of a-CNx Films Synthesized by Chemical Vapor Deposition
    Tanaka, Daisuke ; Ohkawara, Yoshiaki ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 39 (2000-07-01), Heft 7A, S. 4148-4152
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Mechanism of Nitrogen Incorporation into Amorphous-CNx Films Formed by Plasma-Enhanced Chemical-Vapor Deposition of the Doublet and Quartet States of the CN Radical
    Ito, Haruhiko ; Ito, Noriko ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 39 (2000-03-01), Heft 3A, S. 1371-1377
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Raman Spectroscopy Studies of the Influence of Substrate Temperature and Ion Beam Energy on CNx Thin Films Deposited by Nitrogen-Ion-Assisted Pulsed Laser Deposition
    Ren, Z.M. ; Lu, Y.F. ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 38 (1999-08-01), Heft 8, S. 4859-4862
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Growth and Properties of CNx Films Prepared by Reactive DC Magnetron Sputtering
    Jin, Yun-Sik ; Matsuda, Yoshinobu ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 37 (1998-08-01), Heft 8, S. 4544-4549
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Hardness and Structure of a-CNx Films Synthesized by Chemical Vapor Deposition
    Tanaka, Daisuke ; Ohkawara, Yoshiaki ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 39 (2000-07-01), Heft 7A, S. 4148-4152
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Mechanism of Nitrogen Incorporation into Amorphous-CNx Films Formed by Plasma-Enhanced Chemical-Vapor Deposition of the Doublet and Quartet States of the CN Radical
    Ito, Haruhiko ; Ito, Noriko ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 39 (2000-03-01), Heft 3A, S. 1371-1377
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Raman Spectroscopy Studies of the Influence of Substrate Temperature and Ion Beam Energy on CNx Thin Films Deposited by Nitrogen-Ion-Assisted Pulsed Laser Deposition
    Ren, Z.M. ; Lu, Y.F. ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 38 (1999-08-01), Heft 8, S. 4859-4862
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Growth and Properties of CNx Films Prepared by Reactive DC Magnetron Sputtering
    Jin, Yun-Sik ; Matsuda, Yoshinobu ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 37 (1998-08-01), Heft 8, S. 4544-4549
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Optical Emission Diagnostic of Laser-Induced Plasma during CNx Film Deposition
    Aldea, Eugen ; Anna Paola Caricato ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 36 (1997-07-01), Heft 7B, S. 4686-4689
    academicJournal
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    Optical Emission Diagnostic of Laser-Induced Plasma during CNx Film Deposition
    Aldea, Eugen ; Anna Paola Caricato ; et al.
    In: Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP, Jg. 36 (1997-07-01), Heft 7B, S. 4686-4689
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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