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    Impedance Sensing in CMOS-Embedded Microfluidics Using BEOL Electrodes
    Weng, Wei-Yang ; Chien, Jun-Chau
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024-02-01), Heft 1, S. 110-117
    Online serialPeriodical
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    Surface Micromachined CMOS-MEMS Pirani Vacuum Gauge With Stacked Temperature Sensor
    Song, Xiangyu ; Huang, Lifeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024), Heft 2, S. 274-281
    Online serialPeriodical
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    Volltext
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    Platform Development for CMOS-MEMS Multi-Gap Capacitive Transducers
    Chen, Hung-Yu ; Shih, Po-I ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 32 (2023-10-01), Heft 5, S. 461-473
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Volltext
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers
    Zhang, Zhao ; Zhang, Hemin ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024), Heft 2, S. 174-208
    Online serialPeriodical
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  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Tiny-Gap Titanium-Nitride-Composite MEMS Resonator Designs With High Power Handling Capability
    Bhosale, Kalyani S. ; Zope, Anurag A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 32 (2023), Heft 2, S. 173-183
    Online serialPeriodical
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Integrated Fabrication Process of Si Microcantilever Using TMAH Solution With Planar Molybdenum Mask
    Aprilia, Lia ; Meguro, Tatsuya ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 32 (2023), Heft 3, S. 290-296
    Online serialPeriodical
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    Volltext
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  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    A Piezoelectric Micro Machined Ultrasonic Transducer Based Hybrid-Morph AlScN Film
    Bai, Pingping ; Zhou, Yongxin ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 32 (2023), Heft 2, S. 154-156
    Online serialPeriodical
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
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