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    Electrostatic chuck (ESC) pedestal voltage isolation
    Lam Research Corporation
    2024
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Method for controlling ESC integrated braking system
    HYUNDAI MOBIS Co., Ltd.
    2023
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Apparatus for controlling Anti lock Brake System of ESC integrated brake system and method thereof
    HYUNDAI MOBIS CO., LTD.
    2023
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Methods and systems for functional maturation of iPSC and ESC derived cardiomyocytes
    Agilent Technologies, Inc.
    2023
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Apparatus and method for controlling ESC-integrated regenerative braking system
    HYUNDAI MOBIS CO., LTD.
    2023
    Online Patent
    Zugriff:
    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Method for controlling ESC integrated braking system
    Hyundai Mobis Co., Ltd.
    2023
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias
    Applied Materials, Inc.
    2022
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Process kit having tall deposition ring and smaller diameter electrostatic chuck (ESC) for PVD chamber
    Applied Materials, Inc.
    2023
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Apparatus and method for performing rear-wheel regenerative braking control of ESC integrated regenerative braking system
    HYUNDAI MOBIS CO., LTD.
    2022
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    ESC substrate support with chucking force control
    Applied Materials, Inc.
    2021
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Method and system for vehicle ESC system using map data
    HERE Global B.V.
    2021
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Ceramic heater and esc with enhanced wafer edge performance
    Applied Materials, Inc.
    2021
    Online Patent
    Zugriff:
    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Method and system for vehicle ESC system using map data
    HERE Global B.V.
    2020
    Online Patent
    Zugriff:
    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Gas cooled electrostatic chuck (ESC) having a gas channel formed therein and coupled to a gas box on both ends of the gas channel
    Applied Materials, Inc.
    2020
    Online Patent
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    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Power switching system for ESC with array of thermal control elements
    Lam Research Corporation
    2020
    Online Patent
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Multi-zone heated ESC with independent edge zones
    APPLIED MATERIALS, INC.
    2019
    Online Patent
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Method and system for vehicle ESC system using map data
    HERE Global B.V.
    2019
    Online Patent
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Cooling base with spiral channels for ESC
    Applied Materials, Inc.
    2020
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Virtual metrology method for ESC temperature estimation using thermal control elements
    Lam Research Corporation
    2019
    Online Patent
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Using bias RF pulsing to effectively clean electrostatic chuck (ESC)
    APPLIED MATERIALS, INC.
    2019
    Online Patent
    Zugriff:
    View record in USPTO Patent Grants (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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