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    Feature extraction with keypoint resampling and fusion (KRF)
    INC., MEDIATEK
    2023
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Negative photoresist composition for KRF laser, having high resolution and high aspect ratio
    YOUNG CHANG CHEMICAL CO., LTD
    2020
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Line-narrowed KrF excimer laser apparatus
    Inc., Gigaphoton
    2019
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Negative photoresist composition for KrF laser for forming semiconductor patterns
    YOUNG CHANG CHEMICAL CO., LTD
    2018
    Online Patent
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    Method for manufacturing semiconductor device using KrF light source
    Lee, Chang-Myung
    2009
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Reliable. modular, production quality narrow-band KRF excimer laser
    Knowles, David S. ; Azzola, James H. ; et al.
    1999
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Very narrow band KrF laser
    Das, Palash Parijat ; Ershov, Alexander I.
    1998
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Chemically amplified positive photoresist composition for improving pattern profile
    YOUNG CHANG CHEMICAL CO., LTD
    2024
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Molecular resist composition and patterning process
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2024
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Mask blank, phase shift mask, and method of manufacturing semiconductor device
    HOYA, CORPORATION
    2023
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Surface treatment method for dielectric anti-reflective coating (DARC) to shrink photoresist critical dimension (CD)
    Headway Technologies, Inc.
    2018
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Sulfonium compound, chemically amplified resist composition, and patterning process
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2023
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Phase shift mask blank, manufacturing method thereof, and phase shift mask
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2023
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Method and apparatus for rapid sterilization of hazmat suits, surgical instruments and the like
    Taboada, John ; Taboada, John Martin
    2017
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Onium salt, chemically amplified resist composition, and patterning process
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2023
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Iodonium salt, resist composition, and pattern forming process
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2022
    Online Patent
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    Wie komme ich dran?
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    Salt compound, chemically amplified resist composition, and patterning process
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2022
    Online Patent
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    Onium salt, chemically amplified resist composition, and patterning process
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2022
    Online Patent
    Zugriff:
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    Phase shift mask blank, manufacturing method thereof, and phase shift mask
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2022
    Online Patent
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    Phase shift mask blank and phase shift mask
    Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
    2022
    Online Patent
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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