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    真空紫外エキシマランプ光CVDによるシリカ薄膜常圧形成技術の開発
    好成, 前薗 ; 篤至, 横谷 ; et al.
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 32 (2004), Heft 1, S. 54-57
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    真空紫外エキシマランプ光CVDによるシリカ薄膜常圧形成技術の開発
    好成, 前薗 ; 篤至, 横谷 ; et al.
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 32 (2004), Heft 1, S. 54-57
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Development of Photon-Counting Laser-Light-Scattering Method for Detection of Nano-Particles Formed in CVD Plasmas
    正治, 白谷 ; 征夫, 渡辺
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 26 (1998-06-01), Heft 6, S. 449-452
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Development of Photon-Counting Laser-Light-Scattering Method for Detection of Nano-Particles Formed in CVD Plasmas
    正治, 白谷 ; 征夫, 渡辺
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 26 (1998-06-01), Heft 6, S. 449-452
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    エキシマレーザーCVD法による軟X線用多層膜ミラーの作製
    由佳, 山田 ; 勝彦, 武藤
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 22 (1994-11-01), Heft 11, S. 892-898
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    エキシマレーザーCVD法によるa-Si:H/a-SiC:H多層膜の作製
    田口 俊弘 他
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 17 (1989-03-01), Heft 3, S. 211-219
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    レーザー分光法による光CVDの気相診断--炭素系ラジカルの場合
    岡田 竜雄 他
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 17 (1989-02-01), Heft 2, S. 136-147
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    レーザーCVD
    克信, 青柳
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 16 (1988-08-01), Heft 8, S. 486-497
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    エキシマレーザーCVDによる結晶性Si膜の形成
    村原 正隆 他
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 16 (1988-02-01), Heft 2, S. 75-81
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    レーザーCVDによる薄膜の空間選択形成
    貢, 英
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 15 (1987-07-01), Heft 7, S. 505-513
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    レーザー分光法によるプラズマCVD診断
    嘉隆, 田久保
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 15 (1987-04-01), Heft 4, S. 215-222
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    レーザー誘起エッチング及びCVD
    全孝, 広瀬 ; 新, 横山
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 13 (1985-02-01), Heft 2, S. 148-155
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    レーザーCVDの原理と応用
    貢, 英
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 12 (1984-09-01), Heft 9, S. 529-536
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    エキシマレーザーCVD法による軟X線用多層膜ミラーの作製
    由佳, 山田 ; 勝彦, 武藤
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 22 (1994-11-01), Heft 11, S. 892-898
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    エキシマレーザーCVD法によるa-Si:H/a-SiC:H多層膜の作製
    田口 俊弘 他
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 17 (1989-03-01), Heft 3, S. 211-219
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    レーザー分光法による光CVDの気相診断--炭素系ラジカルの場合
    岡田 竜雄 他
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 17 (1989-02-01), Heft 2, S. 136-147
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    レーザーCVD
    克信, 青柳
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 16 (1988-08-01), Heft 8, S. 486-497
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    エキシマレーザーCVDによる結晶性Si膜の形成
    村原 正隆 他
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 16 (1988-02-01), Heft 2, S. 75-81
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    レーザーCVDによる薄膜の空間選択形成
    貢, 英
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 15 (1987-07-01), Heft 7, S. 505-513
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    レーザー分光法によるプラズマCVD診断
    嘉隆, 田久保
    In: レーザー研究 = The review of laser engineering : レーザー学会誌 / レーザー学会 編, Jg. 15 (1987-04-01), Heft 4, S. 215-222
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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