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    非平衡プラズマジェットCVD法によるシリコン製膜時に装置内圧力が製膜速度,膜質におよぼす影響
    哲, 西田 ; 亮, 納土 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 41 (2015), Heft 1・2, S. 148-152
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    非平衡プラズマジェットCVD法によるシリコン製膜時に装置内圧力が製膜速度,膜質におよぼす影響
    哲, 西田 ; 亮, 納土 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 41 (2015), Heft 1・2, S. 148-152
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    熱CVD法を用いた水平管型反応器内のTiN薄膜生成過程における熱物質移動解析
    祐耶, 羽鳥 ; 浩輝, 山本 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 40 (2014), Heft 5・6, S. 425-431
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    熱CVD法を用いた水平管型反応器内のTiN薄膜生成過程における熱物質移動解析
    祐耶, 羽鳥 ; 浩輝, 山本 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 40 (2014), Heft 5・6, S. 425-431
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    対向拡散CVD法による高温プロピレン透過膜の開発
    絵美, 松山 ; 恵介, 内海 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 39 (2013), Heft 3・4, S. 301-306
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    対向拡散CVD法により作製したシリカ複合膜のベンゼン/シクロヘキサン浸透気化分離
    絵美, 松山 ; 紗有佳, 木村 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 39 (2013), Heft 1・2, S. 98-103
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    対向拡散CVD法による高温プロピレン透過膜の開発
    絵美, 松山 ; 恵介, 内海 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 39 (2013), Heft 3・4, S. 301-306
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    対向拡散CVD法により作製したシリカ複合膜のベンゼン/シクロヘキサン浸透気化分離
    絵美, 松山 ; 紗有佳, 木村 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 39 (2013), Heft 1・2, S. 98-103
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    シリカ系多孔質水素分離膜の高温耐久性向上のためのCVD原料の選択
    泰, 吉野 ; 泰典, 安藤 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 34 (2008-03-01), Heft 2, S. 242-248
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    シリカ系多孔質水素分離膜の高温耐久性向上のためのCVD原料の選択
    泰, 吉野 ; 泰典, 安藤 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 34 (2008-03-01), Heft 2, S. 242-248
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    枚葉式CVD装置によるシリコンエピタキシャル成長の数値解析
    祥一, 安廣 ; 永植, 申 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 30 (2004), Heft 1, S. 22-28
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    枚葉式CVD装置によるシリコンエピタキシャル成長の数値解析
    祥一, 安廣 ; 永植, 申 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 30 (2004), Heft 1, S. 22-28
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    プラズマCVD法によるZnO透明導電薄膜--アルミニウムドーパントの影響
    和夫, 近藤 ; 厚文, 大岸 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 27 (2001-03-01), Heft 2, S. 282-284
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    プラズマCVD法によるZnO透明導電薄膜--アルミニウムドーパントの影響
    和夫, 近藤 ; 厚文, 大岸 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 27 (2001-03-01), Heft 2, S. 282-284
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    概要設計を目的とした基板加熱型CVD反応器のモデル化
    亨二, 大木 ; 靖幸, 江頭 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 26 (2000-11-01), Heft 6, S. 798-803
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    非等温細管型熱CVD反応器による塩化アルミニウムからのアルミナ薄膜成長の反応速度解析法
    輝興, 多湖 ; 元明, 河瀬 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 26 (2000-11-01), Heft 6, S. 763-769
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    3次元コンピュータシミュレーションを利用したCVD装置設計--ガスアウトレットの効果
    雅之, 國重 ; 活郎, 菅原 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 26 (2000-11-01), Heft 6, S. 758-762
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    特集 CVD材料プロセス
    In: 化学工学論文集, Jg. 26 (2000-11-01), Heft 6, S. 749-815
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    プラズマCVD法によるZnO透明導電薄膜--ホウ素ドーパントの影響
    和夫, 近藤 ; 敬造, 石山 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 26 (2000-03-01), Heft 2, S. 309-311
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    メタン燃焼雰囲気におけるCVD-SiC被覆したC/C材の酸化挙動
    昭彦, 大塚 ; 弘毅, 桝本 ; et al.
    In: 化学工学論文集, Jg. 26 (2000-03-01), Heft 2, S. 151-156
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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