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    CVD SiGe(C) epitaxial growth and its application to MOS devices
    Murota, J. ; Sakuraba, M. ; et al.
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 525-530
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Multi-generation CVD low /spl kappa/ films for 0.13 /spl mu/m and beyond
    Lee, P.W. ; Lang, Chi-I ; et al.
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 358-363
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    SiGe HV/CVD epitaxy growth on patterned Si substrate
    Zhi-nong, Liu ; Pei-yi, Chen ; et al.
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 600-603
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    UHV/CVD self-organized growth of Ge quantum dots
    Huang, Wentao ; Luo, Guangli ; et al.
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 2 (2001), S. 1406-1407
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of low-k nanoporous SiO/sub 2/ films by plasma-enhanced chemical vapor deposition
    He, Lenian ; Xu, Jin
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 365-368
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Cu barrier/seed technology development for sub-0.10 micron copper chips
    Ding, Peijun ; Chen, Ling ; et al.
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 405-409
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    A 0.11 /spl mu/m DRAM technology for 4Gb DRAM and beyond
    Kim, Kinam ; Park, Joo-Sung
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 178-182
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Nanoporous dielectric materials for advanced CMOS
    Gessner, T. ; Bohuslavova, A. ; et al.
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 343-347
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    High power and high cutoff frequencies of SiGe HBT
    Wenfu, Dong
    In: 2001 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology. Proceedings (Cat. No.01EX443), Jg. 1 (2001), S. 610-611
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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