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    Hybrid fabrication of microfluidic chips based on COC, silicon and TMMF dry resist
    Koltay, Peter ; Zengerle, Roland ; et al.
    In: 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Hybrid fabrication of microfluidic chips based on COC, silicon and TMMF dry resist.
    Kalkandjiev, K. ; Zengerle, R. ; et al.
    In: 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010, S. 400-403
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Optical and surface properties of morphology-controlled sub-20 nm polymer nanotips/nanopores
    Huang, Pin ; Shieh, Jiann ; et al.
    In: 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Design and fabrication of a copolymer aspheric bi-convex lens utilizing thermal energy and electrostatic force in a dynamic fluidic
    Fan, Chao-Chih ; Hung, Kuo-Yung ; et al.
    In: 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
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