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    Improvement of CMOS-MEMS accelerometer using post-CMOS selective electroplating technique
    Liu, Yu-Chia ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1002-1005
    Konferenz
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    A CMOS capacitive pressure sensor chip for fingerprint detection
    Hsiung, Yung-Shih ; Lu, Michael S. C.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 24-27
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Three dimensional photoacoustic imaging using a monolithic CMOS MEMS capacitive ultrasonic sensor
    Li, Meng-Lin ; Wang, Po-Hsun ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 92-95
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    A 400×400µm2 3-axis CMOS-MEMS accelerometer with vertically integrated fully-differential sensing electrodes
    Tsai, Ming-Han ; Liu, Yu-Chia ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 811-814
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Design and implementation of a novel CMOS MEMS condenser microphone with corrugated diaphragm
    Huang, Chien-Hsin ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1026-1029
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Design and implementation of an extremely large proof-mass CMOS-MEMS capacitive tilt sensor for sensitivity and resolution improvement
    Chang, Chun-I ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1104-1107
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Multi-site monitoring of choline and glutamate using biosensor microprobe arrays in combination with CMOS circuitry
    Frey, O. ; Rothe, J. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1829-1832
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Integration and packaging technology of MEMS-on-CMOS tactile sensor for robot application using molded thick BCB layer and backside-grooved electrical connection
    Makihata, M. ; Tanaka, S. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 815-818
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Refined Si-CMOS-MEMS process using AOE, drie and preform bonding
    Fang, Y. J. ; Mukherjee, T. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1380-1383
    Konferenz
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Die-level TSV fabrication platform for CMOS-MEMS integration
    Temiz, Y. ; Zervas, M. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1799-1802
    Konferenz
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    Active CMOS-MEMS conductive probes and arrays for tunneling-based atomic-level surface imaging
    Zhang, Y. ; Wang, J. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 2446-2449
    Konferenz
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    High-Q, large-stopband-rejection integrated CMOS-MEMS oxide resonators with embedded metal electrodes
    Liu, Yu-Chia ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 934-937
    Konferenz
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    CMOS-MEMS transverse-mode square plate resonator with high Q and low motional impedance
    Li, Ming-Huang ; Chen, Wen-Chien ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1500-1503
    Konferenz
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    A differential difference amplifier with automatic gain selection as readout interface for CMOS stress sensors in orthodontic brackets
    Kuhl, M. ; Gieschke, P. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 819-822
    Konferenz
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Nanopore DNA sensors in CMOS with on-chip low-noise preamplifiers
    Rosenstein, J. ; Ray, V. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 874-877
    Konferenz
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    A Frenkel-Poole model of dielectric charging in CMOS MEMS
    Dorsey, K.L. ; Fedder, G.K.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 823-826
    Konferenz
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    CMOS-MEMS atomic force microscope
    Sarkar, N. ; Mansour, R. R. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 2610-2613
    Konferenz
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Wafer level packaging based on AU-AU bonding for a CMOS compatible thermal wind sensor
    Dong, Ziqiang ; Qin, Ming ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 986-989
    Konferenz
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Enhanced performance of a CMOS interdigital capacitive humidity sensor by graphene oxide
    Zhao, Cheng-Long ; Qin, Ming ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1954-1957
    Konferenz
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    CMOS test circuit architecture for the extraction of fluid properties using interdigitated electrodes microsensors
    Druart, S. ; Andre, N. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 2398-2401
    Konferenz
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