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    Imaging Structure and Composition Homogeneity of 300 mm SiGe Virtual Substrates for Advanced CMOS Applications by Scanning X‑ray Diffraction Microscopy
    Zoellner, Marvin H ; Richard, Marie-Ingrid ; et al.
    In: ACS Applied Materials & Interfaces, Jg. 7 (2015-05-06), Heft 17
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record in eScholarship (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Imaging Structure and Composition Homogeneity of 300 mm SiGe Virtual Substrates for Advanced CMOS Applications by Scanning X-ray Diffraction Microscopy.
    Zoellner, Marvin H ; Richard, Marie-Ingrid ; et al.
    In: ACS applied materials & interfaces, Jg. 7 (2015-05-01), Heft 17
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record in eScholarship (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Engineering High‑k/SiGe Interface with ALD Oxide for Selective GeO x Reduction
    Kavrik, Mahmut S ; Ercius, Peter ; et al.
    In: ACS Applied Materials & Interfaces, Jg. 11 (2019-04-24), Heft 16
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record in eScholarship (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Engineering High- k/SiGe Interface with ALD Oxide for Selective GeO x Reduction.
    Kavrik, Mahmut S ; Ercius, Peter ; et al.
    In: ACS applied materials & interfaces, Jg. 11 (2019-04-15), Heft 16
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record in eScholarship (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
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