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    Device-quality polycrystalline silicon films deposited at low process temperatures by hot-wire chemical vapor deposition
    SAHA, S. C ; GUILLET, J ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 248-252
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The control of the high-density microwave plasma for large-area electronics
    SHIRAI, H ; SAKUMA, Y ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 12-17
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Properties of polycrystalline silicon films prepared from fluorinated precursors
    RAY, S ; MUKHOPADHYAY, S ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 7-11
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Polycrystalline silicon film growth in a SiF4/SiH4/H2 plasma
    LEE, B ; QUINN, L. J ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 55-58
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Growth mechanism of microcrystalline silicon obtained from reactive plasmas
    MATSUDA, A
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 1-6
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Deposition of microcrystalline silicon in an integrated distributed electron cyclotron resonance PECVD reactor
    BULKIN, P ; HOFRICHTER, A ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 37-40
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Control of orientation from random to (220) or (400) in polycrystalline silicon films
    KAMIYA, T ; NAKAHATA, K ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 18-22
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Carrier transport, structure and orientation in polycrystalline silicon on glass
    NAKAHATA, K ; MIIDA, A ; et al.
    In: E-MRS Spring Conference, Symposium E: Thin Film Materials for Large Area Electronics, Jg. 337 (1999), Heft 1-2, S. 45-50
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -