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In: ECS journal of solid state science and technology, Jg. 4 (2015), Heft 11, S. P5112- (6S.)serialPeriodicalZugriff:
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Effect of Slurry Additives on Co-BTA Complex Stability and Inhibition Property During Co CMP ProcessIn: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 11 (2022-08-01), S. 084006-84006Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 11 (2022-04-01), S. 044002-44002Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 8 (2019), S. P3114- (4S.)Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 10 (2021-10-01), S. 104004-104004Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 8 (2019), S. P416- (7S.)Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 8 (2018-12-12), S. P3009- (9S.)Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 8 (2019), Heft 5, S. P3114- (4S.)serialPeriodicalZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 6 (2016-12-02), S. P1- (6S.)Online unknownZugriff:
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In: ECS Journal of Solid State Science and Technology, Jg. 4 (2015), S. P5112- (6S.)Online unknownZugriff: