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    Chapter 50 - MEMS-above CMOS and novel optical MEMS sensor concepts
    Tilmans, H.A.C. ; Rochus, V. ; et al.
    In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2020) S. 969-984
    Buch
    Wie komme ich dran?
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    Chapter 28 - Bonding of CMOS processed wafers
    Knechtel, Roy ; Wicht, Sebastian
    In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2020) S. 641-650
    Buch
    Wie komme ich dran?
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    Chapter 33 - Bonding of CMOS Processed Wafers
    Knechtel, Roy
    In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2016) S. 640-647
    Buch
    Wie komme ich dran?
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    Chapter Thirty Five - Bonding of CMOS Processed Wafers
    Knechtel, Roy
    In: Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies; (2010) S. 543-550
    Buch
    Wie komme ich dran?
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    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    Buch
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -