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In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 18 (2005-11-01), Heft 4, S. 695-708Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 14 (2001-11-01), Heft 4, S. 406-417Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 14 (2001-05-01), Heft 2, S. 112Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 16 (2003-02-01), Heft 1, S. 45-56Online academicJournalZugriff: