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    An ad hoc query interface for IC-CIM databases
    Smith, Brian C. ; Rowe, Lawrence A.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 5 (1992-11-01), Heft 4, S. 281-289
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Advanced CIM environment for manufacturing data analysis
    Miller, William H., Jr. ; Poole, Mark W.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 6 (1993-05-01), Heft 2, S. 128-133
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    An ad hoc query interface for IC-CIM databases
    Rowe, L.A. ; Smith, B.C.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 5 (1992), S. 281-289
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Advanced CIM environment for manufacturing data analysis
    Poole, M.W. ; Miller, W.H.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 6 (1993-05-01), S. 128-133
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    MMST manufacturing technology - hardware, sensors, and processes
    Barna, Gabriel G. ; Loewenstein, Lee M. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 149-158
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    The MMST computer-integrated manufacturing system framework
    McGehee, John ; Hebley, John ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 107-116
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    MMST manufacturing technology-hardware, sensors, and processes
    O'Brien, Sean C. ; White, D.D. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), S. 149-158
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    The MMST computer-integrated manufacturing system framework
    Hebley, J. ; Mahaffey, J. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), S. 107-116
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Quick-turnaround-time improvement for product development and transfer to mass production
    Koike, Hidetoshi ; Matsuoka, Fumimoto ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 11 (1998-02-01), Heft 1, S. 54-62
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Integration of in situ spectral ellipsometry with MMST machine control
    Maung, Sonny ; Banerjee, Somnath ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 184-192
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    DOE/Opt: a system for design of experiments, response surface modeling, and optimization using process and device simulation
    Boning, Duane S. ; Mozumder, P.K.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 233-244
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A planner and scheduler for semiconductor manufacturing
    Fargher, Hugh E. ; Kilgore, Michael A. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 117-126
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A control-to-target architecture for process control
    Sullivan, Michael ; Butler, Stephanie Watts ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 134-148
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Quick-turnaround-time improvement for product development and transfer to mass production
    Muraoka, K. ; Koike, Hidetoshi ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 11 (1998), S. 54-62
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
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    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    A control-to-target architecture for process control
    Hirsch, Judith S. ; Butler, Stephenie W. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), S. 134-148
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    DOE/Opt: a system for design of experiments, response surface modeling, and optimization using process and device simulation
    Mozumder, P.K. ; Boning, Duane S.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), S. 233-244
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Integration of in situ spectral ellipsometry with MMST machine control
    Henck, Steven A. ; Draheim, D. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), S. 184-192
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A planner and scheduler for semiconductor manufacturing
    Kilgore, M.A. ; Kline, P.J. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), S. 117-126
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A framework for knowledge-based computer-integrated manufacturing
    Pan, J.-Y. ; Tenenbaum, J.M. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 2 (1989-05-01), S. 33-46
    Online unknown
    Zugriff:
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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