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In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 24 (2011), Heft 2, S. 273-279Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 21 (2008), Heft 2, S. 201-208Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 18 (2005), Heft 1, S. 63-68Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 22 (2009), Heft 1, S. 196-203Online academicJournalZugriff:
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In: IEEE transactions on semiconductor manufacturing, Jg. 19 (2006), Heft 4, S. 397-403Online KonferenzZugriff: