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    An ad hoc query interface for IC-CIM databases
    Smith, B.C. ; Rowe, L.A.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 5 (1992-11-01), Heft 4, S. 281-289
    Online academicJournal
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    Advanced CIM environment for manufacturing data analysis
    Miller, W.H. Jr. ; Poole, M.W.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 6 (1993-05-01), Heft 2, S. 128-133
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Engineering Chain: A Novel Semiconductor Engineering Collaboration Model
    Cheng, F. T. ; Chen, Y. L. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 25 (2012-08-01), Heft 3, S. 394-407
    Online academicJournal
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    Volltext
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    The MMST computer-integrated manufacturing system framework
    McGehee, J. ; Hebley, J. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 107-116
    Online academicJournal
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    MMST manufacturing technology-hardware, sensors, and processes
    Barna, G.G. ; Loewenstein, L.M. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 149-158
    Online academicJournal
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    Quick-turnaround-time improvement for product development and transfer to mass production
    Koike, H. ; Matsuoka, F. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 11 (1998-02-01), Heft 1, S. 54-62
    Online academicJournal
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    A control-to-target architecture for process control
    Sullivan, M. ; Butler, S.W. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 134-148
    Online academicJournal
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    A planner and scheduler for semiconductor manufacturing
    Fargher, H.E. ; Kilgore, M.A. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 117-126
    Online academicJournal
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    Integration of in situ spectral ellipsometry with MMST machine control
    Maung, S. ; Banerjee, S. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 184-192
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    DOE/Opt: a system for design of experiments, response surface modeling, and optimization using process and device simulation
    Boning, D.S. ; Mozumder, P.K.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 7 (1994-05-01), Heft 2, S. 233-244
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    A framework for knowledge-based computer-integrated manufacturing
    Pan, J. Y. ; Tenenbaum, J.M. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 2 (1989-05-01), Heft 2, S. 33-46
    Online academicJournal
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    Two-Stage Transfer Learning for Fault Prognosis of Ion Mill Etching Process
    Liu, C. ; Zhang, L. ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 34 (2021-05-01), Heft 2, S. 185-193
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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