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    Structural characterization and transport properties of diamond films prepared by DC plasma glow discharge CVD
    BACCI, T ; BORCHI, E ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 34 (1998), Heft 4, S. 321-331
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Effect of deposition conditions on the microstructure of CVD ZnS
    DEVYATYKH, G. G ; GAVRISHCHUK, E. M ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 32 (1996), Heft 6, S. 589-591
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Thermodynamics of the chemical vapor deposition of carbides in the system TaBr5-CCl4-Cd
    GONCHAROV, O. Yu
    In: Inorganic materials, Jg. 37 (2001), Heft 3, S. 237-242
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Investigation of microinhomogeneities in a-SiCr:H films using the chemical induction model
    BUDAGYAN, B. G ; SHERCHENKOV, A. A ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 39 (2003), Heft 12, S. 1221-1226
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
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    Thermodynamic modeling of BCxNy chemical vapor deposition in the B-C-N-H system
    GOLUBENKO, A. N ; KOSINOVA, M. L ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 39 (2003), Heft 4, S. 362-365
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
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    Composition and structure of films deposited from silyl derivatives of asymmetrical dimethylhydrazine
    SMIRNOVA, T. P ; BADALYAN, A. M ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 39 (2003), Heft 2, S. 117-122
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Chemical composition of boron carbonitride films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition from trimethylamineborane
    KOSINOVA, M. L ; RUMYANTSEV, Yu. M ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 39 (2003), Heft 4, S. 366-373
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
    Wie komme ich dran?
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    Metalorganic chemical vapor deposition of antimony oxide films on semiconductor substrates
    MITTOV, O. N ; PONOMAREVA, N. I ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 38 (2002), Heft 6, S. 576-581
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Metalorganic vapor-phase epitaxy of ZnTe and CdZnTe on GaAs
    DEVYATYKH, G. G ; MOISEEV, A. N ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 38 (2002), Heft 2, S. 99-105
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Metalorganic chemical vapor deposition of oxide films on semiconductor substrates using aluminum, gallium, and indium alkyl chloride precursors
    MITTOV, O. N ; PONOMAREVA, N. I ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 38 (2002), Heft 5, S. 438-444
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Deposition of conductive films onto silicon, germanium, and SiO2/Si structures via pyrolysis of titanocene and zirconocene dichlorides in the presence of organosilicon compounds
    MITTOV, O. N ; PONOMAREVA, N. I ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 38 (2002), Heft 1, S. 34-38
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Chemical vapor deposition of copper films from copper dipivaloylmethanate in hydrogen atmosphere
    BAKOVETS, V. V ; LEVASHOVA, T. M ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 38 (2002), Heft 5, S. 457-463
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Chemical vapor deposition of niobium in the NbCl5-H2-O2 system
    KOBYAKOV, V. P
    In: Inorganic materials, Jg. 38 (2002), Heft 9, S. 895-899
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Effect of reagent concentrations on the grain size of chemical-vapor-deposited ZnSe
    GAVRISHCHUK, E. M ; SALGANSKII, Yu. M ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 37 (2001), Heft 3, S. 216-219
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Deposition of Al2O3 and SiO2 films via pyrolysis of aluminum acetylacetonate and hexamethyldisiloxane in the presence of nitrogen compounds
    MITTOV, O. N ; PONOMAREVA, N. I ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 36 (2000), Heft 12, S. 1243-1250
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Kinetics of SiC chemical vapor deposition from methylsilane
    ABYZOV, A. M ; SMIRNOV, E. P
    In: Inorganic materials, Jg. 36 (2000), Heft 9, S. 884-890
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Thermodynamic modeling of gallium arsenide homoepitaxy
    AKMAROV, A. A ; KRYLOV, P. N ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 35 (1999), Heft 3, S. 220-223
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Kinetics of the chemical vapor deposition of composite ceramic films based on silicon nitrides and carbides
    GRIGOR'EV, Yu. M ; CHIZHOV, P. E ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 35 (1999), Heft 11, S. 1200-1203
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Properties of SiC films deposited from trimethylchlorosilane
    SMIRNOVA, T. P ; YAKOVKINA, L. V ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 35 (1999), Heft 12, S. 1249-1255
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Structure of silicon nitride layers grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition
    FAINER, N. I ; RUMYANTSEV, Yu. M ; et al.
    In: Inorganic materials, Jg. 34 (1998), Heft 10, S. 1053-1056
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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