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  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    Preliminary studies of atmospheric pressure plasma enhanced CVD (AP-PECVD) of thin oxide films
    MCSPORRAN, N ; HITCHMAN, M. L ; et al.
    In: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 95 (2002), S. Pr4.17
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Processing of (PyC/TiC)n multilayered coatings by pulsed CVD and RCVD
    RAPAUD, O ; VINCENT, H ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.391
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    Organic chemistry by CVD
    HE, L ; HITCHMAN, M. L ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.261
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Metal and oxide thin film MO CVD as a base for nanostructure and superlattice formation
    BAKOVETS, V. V ; GELFOND, N. V ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.561
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Halide CVD of dielectric and ferroelectric oxides
    HARSTA, A
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.223
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Formation of high moisture and dopant diffusion resistivity silicon nitride films by catalytic-CVD method
    IZUMI, A ; SATO, H ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.901
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Elementary steps and application of the CVD of SiC/BN double layers
    HEMELTJEN, S ; HEINRICH, J ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.77
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Composition, morphology and particle size control in nanocrystalline iron oxide films grown by single-source CVD
    MATHUR, S ; VEITH, M ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.487
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    CVD techniques for gas separation membranes synthesis - characterization - applications
    DURAND, J ; ROUESSAC, V
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.1053
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    CVD copper thin film deposition using (a-methylstyrene)Cu(I)(hfac)
    ZHUANG, W ; CHARNESKI, L. J ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.553
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Silicon oxide nanolayers for soft X-ray optics produced by plasma enhanced CVD
    HAMELMANN, F ; ASCHENTRUP, A ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.431
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Nanophased ZrO2-CeO2 or TiO2-ZrO2-CeO2 films by CVD as catalysts for hydrocarbon complete combustion
    BARRECA, D ; BATTISTON, G. A ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.453
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    MO CVD obtaining composite coatings from metal of platinum group on titanium electrodes
    GELFOND, N. V ; GALKIN, P. S ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.593
    Konferenz
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    GeO2 and SiO2 thin film preparation with CVD using ultraviolet excimer lamps
    KUROSAWA, K ; MAEZONO, Y ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.739
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Comparative characterization of nitrogen-rich CNx films prepared by different ICP-CVD techniques
    POPOV, C ; BULIR, J ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.731
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    CVD growth of silicon films at high rates
    HOFSTÄTTER, M ; ATAKAN, B ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.293
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    (HFA)Cu 1,5-COD as the prospective precursor for CVD-technologies : The electronic structure, thermodynamical properties and process of formation of thin copper films
    LISKOVSKAYA, T. I ; BULUSHEVA, L. G ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.69
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Characterization of amorphous SiC:H thin films grown by RF plasma enhanced CVD on annealing temperature
    PARK, M. G ; CHOI, W. S ; et al.
    In: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 95 (2002), S. Pr4.155
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Nanoscale cobalt oxides thin films obtained by CVD and sol-gel routes
    ARMELAO, L ; BARRECA, D ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.437
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Microwave plasma enhanced CVD of aluminum oxide films : Influence of the deposition parameter on the films characteristics
    HIDALGO, H ; TRISTANT, P ; et al.
    In: EUROCVD 13: Thirteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition, Glyfada, Athens, Greece, August 26-31, 2001, Jg. 83 (2001), S. Pr3.723
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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