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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-04-01), Heft 2, S. 406-414Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-04-01), Heft 2, S. 427-439Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-10-01), Heft 5, S. 791-798Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-10-01), Heft 5, S. 791-798Online academicJournalZugriff: