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  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators
    YI, CHIU ; HONG, Hao-Chiao ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1285-1295
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor
    LAZARUS, Nathan ; BEDAIR, Sarah S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka -Band Tunable Filters
    Scarbrough, Derek ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 910-918
    Online unknown
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    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    KO, Cheng-Ting ; TSENG, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    REINKE, John ; FEDDER, Gary K ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1105-1115
    Online academicJournal
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process.
    Alfaifi, Ahmad ; Alhomoudi, Ibrahim A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), Heft 1, S. 14-24
    Online academicJournal
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka-Band Tunable Filters.
    Asadi, Mohammad Javad ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 910-918
    Online academicJournal
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  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators
    Hong, Hao-Chiao ; Wu, Po-Chih ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1285-1295
    Online unknown
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  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    CMOS-MEMS Variable Capacitors Using Electrothermal Actuation
    Reinke, John ; Mukherjee, Tamal ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-10-01), S. 1105-1115
    Online unknown
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    A CMOS Micromachined Capacitive Tactile Sensor With High-Frequency Output
    Michael S.-C. Lu ; Ko, Cheng-Ting ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-12-01), S. 1708-1714
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators.
    Liu, Yu-Chia ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), Heft 5, S. 1054-1065
    Online academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Experimental Analysis of Vapor HF Etch Rate and Its Wafer Level Uniformity on a CMOS-MEMS Process
    Fernández, Daniel ; Valle, Juan ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 401-412
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    High-$Q$ Solenoid Inductors With a CMOS-Compatible Concave-Suspending MEMS Process
    Li, Xinxin ; Gu, Lei
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), S. 1162-1172
    Online unknown
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Cantilever Fabrication by a Printing and Bonding Process
    Luis Fermín Capitán-Vallvey ; Rivadeneyra, Almudena ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), S. 880-886
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    All-Silicon Technology for High- $Q$ Evanescent Mode Cavity Tunable Resonators and Filters.
    Arif, Muhammad Shoaib ; Peroulis, Dimitrios
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 727-739
    Online academicJournal
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    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    academicJournal
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Cantilever Fabrication by a Printing and Bonding Process.
    Rivadeneyra, Almudena ; Fernandez-Salmeron, Jose ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 880-886
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors.
    Suter, Jonathan D. ; Hohimer, Cameron J. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-06-01), Heft 3, S. 670-677
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A Multimetal Surface Micromachining Process for Tunable RF MEMS Passives.
    Shim, Yonghyun ; Wu, Zhengzheng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-08-01), Heft 4, S. 867-874
    Online academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Fabrication of 32 × 32 2D Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) Arrays on a Borosilicate Glass Substrate With Silicon-Through-Wafer Interconnects Using Sacrificial Release Process
    Ali Onder Biliroglu ; Oralkan, Omer ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-12-01), S. 968-979
    Online unknown
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