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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1327-1338Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 6, S. 1331-1340Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 807-815Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 5, S. 1192-1200Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-12-01), Heft 6, S. 951-959Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 5, S. 1098-1107Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1481-1488Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-10-01), Heft 5, S. 683-685Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010), Heft 3, S. 548-560Online unknownZugriff: