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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Li, Cheng-Syun ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 755-765
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka -Band Tunable Filters
    Scarbrough, Derek ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 910-918
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process
    Kinget, Peter R. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), S. 846-858
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    Multi-Functional CMOS Compatible Nano-Electro-Mechanical Relays for Vapor Phase Explosive Detection
    Maryam Shojaei Baghini ; Neena A Gilda ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-06-01), S. 616-623
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    Fujimoto, Koji ; Mita, Yoshio ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), S. 86-94
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    Implementation of a CMOS-MEMS Filter Through a Mixed Electrical and Mechanical Coupling Scheme
    Li, Ming-Huang ; Chin, Chi-Hang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 262-274
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    Bi-Stable Aluminum Nitride-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer (PMUT)
    Kaltenbacher, Manfred ; Moll, Philipp ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 948-953
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    Ultra Deep Reactive Ion Etching of High Aspect-Ratio and Thick Silicon Using a Ramped-Parameter Process
    Najafi, Khalil ; Sandoughsaz, A ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 27 (2018-08-01), S. 686-697
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  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Evaluation of Vibrational PiezoMEMS Harvester That Scavenges Energy From a Magnetic Field Surrounding an AC Current-Carrying Wire
    Jackson, Nathan ; Houlihan, Ruth ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), S. 1298-1305
    Online unknown
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