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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), S. 1747-1758Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-04-01), S. 360-372Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 18 (2009-06-01), S. 671-678Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-06-01), S. 570-580Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), Heft 3, S. 528-530Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), S. 528-530Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-12-01), S. 989-995Online unknownZugriff: