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    Surface Micromachined CMOS-MEMS Pirani Vacuum Gauge With Stacked Temperature Sensor
    Song, X. ; Huang, L. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024-04-01), Heft 2, S. 274-281
    Online academicJournal
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    Impedance Sensing in CMOS-Embedded Microfluidics Using BEOL Electrodes
    Weng, W. ; Chien, J.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024-02-01), Heft 1, S. 110-117
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Platform Development for CMOS-MEMS Multi-Gap Capacitive Transducers
    Chen, H. ; Shih, P. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 32 (2023-10-01), Heft 5, S. 461-473
    Online academicJournal
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    CMOS-Integrated Aluminum Nitride MEMS: A Review
    Pinto, R.M.R. ; Gund, V. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-08-01), Heft 4, S. 500-523
    Online academicJournal
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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection
    Wang, X. ; Lee, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-08-01), Heft 4, S. 506-512
    Online academicJournal
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning
    Lin, Y. ; Chung, V.P.J. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 978-983
    Online academicJournal
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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors
    Ng, D.K.T. ; Wu, G. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 1199-1207
    Online academicJournal
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips
    Tsiamis, A. ; Li, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), Heft 5, S. 1245-1252
    Online academicJournal
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    Okamoto, Y. ; Ryoson, H. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), Heft 1, S. 86-94
    Online academicJournal
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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control
    Hsu, C. ; Li, W.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), Heft 6, S. 1415-1417
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization
    Chen, C. ; Li, M. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754
    Online academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Chen, C. ; Li, M. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Two-Dimensional CMOS MEMS Thermal Flow Sensor With High Sensitivity and Improved Accuracy
    Xu, W. ; Wang, X. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-04-01), Heft 2, S. 248-254
    Online academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A CMOS-MEMS Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensor With Temperature Compensation
    Xu, W. ; Ma, S. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 841-849
    Online academicJournal
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    Electro-Thermally Actuated Non-Volatile Mechanical Memory With CMOS-Level Operation Voltage and Low Contact Resistance
    Choi, P.K. ; Lee, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-02-01), Heft 1, S. 87-96
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Magnet-Less Circulator Using AlN MEMS Filters and CMOS RF Switches
    Xu, C. ; Piazza, G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-06-01), Heft 3, S. 409-418
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    CMOS Neural Probe With 1600 Close-Packed Recording Sites and 32 Analog Output Channels
    Sayed Herbawi, A. ; Christ, O. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 27 (2018-12-01), Heft 6, S. 1023-1034
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- $\mu \text{m}$ CMOS Chips
    Cheng, Z. ; Toshiyoshi, H.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), Heft 6, S. 1435-1441
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process
    Edrees, H.M. ; Colon-Berrios, A.R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), Heft 4, S. 846-858
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process
    Alfaifi, A. ; Alhomoudi, I.A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), Heft 1, S. 14-24
    Online academicJournal
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