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    Focused-ion-beam nanostructuring of Al<subscript>2</subscript>O<subscript>3</subscript> dielectric layers for photonic applications.
    Ay, Feridun ; W&mgr;rhoff, Kerstin ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-5
    Online academicJournal
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    A capillary-driven micromixer: idea and fabrication.
    Lee, Chun-Te ; Lee, Chun-Che
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-7
    Online academicJournal
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    Excimer laser micropatterning of freestanding thermo-responsive hydrogel layers for cells-on-chip applications.
    Santaniello, Tommaso ; Martello, Federico ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-11
    Online academicJournal
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    Particle analysis and differentiation using a photovoltaic cell.
    Fu, Lung-Ming ; Shu, Wei-En ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-8
    Online academicJournal
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    Facile fabrication of true three-dimensional microcoils inside fused silica by a femtosecond laser.
    He, Shengguan ; Chen, Feng ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-5
    Online academicJournal
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    Pillar-shaped stimulus electrode array for high-efficiency stimulation of fully implantable epiretinal prosthesis.
    Lee, Kang-Wook ; Watanabe, Yoshinobu ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-11
    Online academicJournal
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    High-bandwidth piezoresistive force probes with integrated thermal actuation.
    Doll, Joseph C. ; Pruitt, Beth L.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-09-01), Heft 9, S. 1-14
    Online academicJournal
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    Characteristics of electrostatic gas micro-pump with integrated polyimide passive valves.
    Han, Jeahyeong ; Yeom, Junghoon ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-09-01), Heft 9, S. 1-12
    Online academicJournal
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    MEMS microphone with a micro Helmholtz resonator.
    Takahashi, Hidetoshi ; Suzuki, Akira ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-08-01), Heft 8, S. 1-6
    Online academicJournal
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    Hybrid laser and reactive ion etching of Parylene-C for deinsulation of a Utah electrode array.
    Yoo, Je-Min ; Song, Jong-In ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-8
    Online academicJournal
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    A process-induced-frequency-drift resilient 32 kHz MEMS resonator.
    Xu, Jinghui ; Tsai, Julius Minglin
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-7
    Online academicJournal
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    Tube-shaped Pirani gauge for in situ hermeticity monitoring of SiN thin-film encapsulation.
    Santagata, F. ; Creemer, J. F. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-8
    Online academicJournal
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    Bi-axial fracture strength characteristic of an ultra-thin flash memory chip.
    Jeon, Eun-Beom ; Park, Jae-Dong ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-11
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    Fabrication of 200 nm period centimeter area hard x-ray absorption gratings by multilayer deposition.
    Lynch, S. K. ; Liu, C. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-10
    Online academicJournal
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    Novel development of the micro-tensile test at elevated temperature using a test structure with integrated micro-heater.
    Ang, W. C. ; Kropelnicki, P. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-08-01), Heft 8, S. 1-8
    Online academicJournal
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    Microfabrication of bulk PZT transducers by dry film photolithography and micro powder blasting.
    Misri, I. ; Hareesh, P. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-08-01), Heft 8, S. 1-10
    Online academicJournal
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    Electrostatic deposition of a micro solder particle using a single probe by applying a single rectangular pulse.
    Nakabayashi, Daizo ; Sawai, Kenji ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-08-01), Heft 8, S. 1-9
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    Fabrication of low pull-in voltage RF MEMS switches on glass substrate in recessed CPW configuration for V-band application.
    Sharma, Jaibir ; Krishanapura, Nagendra ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-02-01), Heft 2, S. 1-9
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