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    Design of a high-density thermal inkjet using heat transfer from CVD diamond.
    Baek, Seog Soon ; Choi, Bumkyoo ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 14 (2004-05-01), Heft 5, S. 750-760
    Online academicJournal
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    Excimer laser induced CVD and its application to selective non-planar metallization.
    Maeda, S. ; Minami, K. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 5 (1995-09-01), Heft 3, S. 1-1
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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    Direct fabrication of a W-C SNS Josephson junction using focused-ion-beam chemical vapour deposition.
    Dai, Jun ; Kometani, Reo ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 24 (2014-05-01), Heft 5, S. 55015-55019
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Resolution, masking capability and throughput for direct-write, ion implant mask patterning of diamond surfaces using ion beam lithography.
    Tripathi, Sarvesh K. ; Scanlan, Declan ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-05-01), Heft 5, S. 1-6
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
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    Mechanical characteristics of ultra-long horizontal nanocantilevers grown by real-time feedback control on focused-ion-beam chemical vapour deposition.
    Guo, Dengji ; Warisawa, Shin’ichi ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015-12-01), Heft 12, S. 1-1
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A method for alleviating the effect of pinhole defects in inter-metal dielectric films.
    Song, Xiaoxiao ; Wang, Qiu ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 29 (2019), Heft 1, S. 1-1
    academicJournal
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    Hermetic sealing of MEMS including lateral feedthroughs and room-temperature anodic bonding.
    Woetzel, S ; Ihring, A ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 28 (2018-07-01), Heft 7, S. 1-1
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    High Q diamond hemispherical resonators: fabrication and energy loss mechanisms.
    Jonathan J Bernstein ; Mirela G Bancu ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015-08-01), Heft 8, S. 1-1
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    A novel method to fabricate parylene-based flexible microfluidic platforms with commercial adhesive tape.
    Byung Jun Kim ; Lee, Donghee ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015), Heft 1, S. 1-1
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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