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In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 26 (2016-10-19), S. 115023-115023Online unknownZugriff:
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In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 24 (2014-03-25), S. 045020-45020Online unknownZugriff: