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    Characterization, modelling and performance evaluation of CMOS integrated multielectrode tunable capacitor (MTC)
    OLSZEWSKI, Zbigniew ; HILL, Martin ; et al.
    In: 15th European Workshop on Micromechanics (MME), Leuven, Belgium, 5-7 September 2004, Jg. 15 (2005), Heft 7, S. S122- (10S.)
    Online Konferenz
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    CMOS micromachined capacitive cantilevers for mass sensing
    LI, Ying-Chung ; HO, Meng-Han ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 12, S. 2659-2665
    Online academicJournal
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    A CMOS-compatible high aspect ratio silicon-on-glass in-plane micro-accelerometer
    CHAE, Junseok ; KULAH, Haluk ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 2, S. 336-345
    Online academicJournal
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    CMOS-sealed membrane capacitors for medical tactile sensors
    SALO, T ; VANCURA, T ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 4, S. 769-778
    Online academicJournal
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    Design and characterization of the immersion-type capacitive ultrasonic sensors fabricated in a CMOS process
    TANG, Po-Kai ; WANG, Po-Hsun ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 21 (2011), Heft 2
    Online academicJournal
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    A new process for CMOS MEMS capacitive sensors with high sensitivity and thermal stability
    TAN, S. S ; LIU, C. Y ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 21 (2011), Heft 3
    Online academicJournal
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    RF-MEMS switching devices using vertical comb-drive actuation in the CMOS process
    NAITO, Y ; NAKAMURA, K ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 20 (2010), Heft 4
    Online academicJournal
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    Monolithic integration of capacitive sensors using a double-side CMOS MEMS post process
    SUN, Chih-Ming ; CHUANWEI, WANG ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 19 (2009), Heft 1
    Online academicJournal
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    Design and application of a metal wet-etching post-process for the improvement of CMOS-MEMS capacitive sensors
    TSAI, Ming-Han ; SUN, Chih-Ming ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 19 (2009), Heft 10
    Online academicJournal
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    Design and characterization of an air-coupled capacitive ultrasonic sensor fabricated in a CMOS process
    CHEN, Meng-Hui ; LU, Michael S.-C
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 18 (2008), Heft 1
    Online academicJournal
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    Extending the traveling range with a cascade electrostatic comb-drive actuator
    CHIOU, Jin-Chern ; LIN, Yung-Jiun ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 18 (2008), Heft 1
    Online academicJournal
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    Pre-distorted sinewave-driven parallel-plate electrostatic actuator for harmonic displacement
    DE GRAAF, G ; MOL, L ; et al.
    In: 15th European Workshop on Micromechanics (MME), Leuven, Belgium, 5-7 September 2004, Jg. 15 (2005), Heft 7, S. S103- (6S.)
    Online Konferenz
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    Micro-gravity capacitive silicon-on-insulator accelerometers
    VAKILI AMINI, Babak ; AYAZI, Farrokh
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 11, S. 2113-2120
    Online academicJournal
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    A review of MEMS oscillators for frequency reference and timing applications
    VAN BEEK, J. T. M ; PUERS, R
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 22 (2012), Heft 1
    Online academicJournal
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    Dynamic range enhancement of nonlinear nanomechanical resonant cantilevers for highly sensitive NEMS gas/mass sensor applications
    KACEM, N ; ARCAMONE, J ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 20 (2010), Heft 4
    Online academicJournal
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