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    Deposition of Nb2O5 Film on Large Wafer by Flashing Spray CVD Method / フラッシングスプレー CVD 法による大面積ウエハへの Nb2O5 膜の成膜
    Akiko, KOMEDA ; Jiro, SENDA ; et al.
    2007
    academicJournal
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    Synthesis of Sulfur-Doped Amorphous Carbon Thin Films by Plasma CVD Using Thiophene as a Starting Material / チオフェンを原料とする硫黄ドープアモルファス炭素薄膜のCVD合成
    Akio, ONO ; Hideo, YAMADA ; et al.
    In: Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌), Jg. 111 (2003), Heft 1290, S. 133
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    SiC/SiC複合材料の界面層のための連続CVD法によるBNコーティング厚さの均一化
    Uniformization of Boron Nitride Coating Thickness by Continuous Chemical Vapor Deposition Process for Interphase of SiC/SiC Composites
    In: Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌), Jg. 111 (2003), Heft 1300, S. 865
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Photo-Induced Surface Reaction of Highly Oriented Anatase Polycrystalline Films Synthesized Using a CVD Apparatus Operated in Atmospheric Regime / 大気開放型化学気相析出装置により作製された高配向アナターゼ多結晶膜の光誘起表面反応
    Hidetoshi, SAITOH ; Norio, TANAKA ; et al.
    In: Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌), Jg. 111 (2003), Heft 1294, S. 433
    academicJournal
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    Reaction of CVD BN ceramics in water vapor at 1023–1173 K using different kinetic model
    KUO-CHIH, Chou ; Hou, XINMEI ; et al.
    2014
    academicJournal
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    academicJournal
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    academicJournal
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    academicJournal
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    High-Speed Deposition of Yttria-Stabilized Zirconia and Titania Films by Laser Chemical Vapor Deposition (Paper) / レーザー CVD 法によるイットリア安定化ジルコニア膜及びチタニア膜の高速合成
    Teiichi, KIMURA ; 禎一, 木村
    In: Journal of the Ceramic Society of Japan (日本セラミックス協会学術論文誌), Jg. 114 (2006), Heft 1326, S. 161
    academicJournal
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    academicJournal
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    ハイブリッドプラズマＣＶＤによる炭素膜作製に及ぼす基板温度の影響
    OKUNO, YOSHIHIRO
    In: Journal of the Ceramic Society of Japan, Jg. 101 (1993-08-01), Heft No. 8, S. 951-954
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
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    ハイブリッドプラズマＣＶＤによるダイヤモンド状炭素膜の合成
    OKUNO, YOSHIHIRO
    In: Journal of the Ceramic Society of Japan, Jg. 100 (1992-06-01), Heft No. 6, S. 830-834
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
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    academicJournal
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    academicJournal
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    Thermal stability and cutting performance of Al-rich cubic AlxTi1−xN coating prepared by low-pressure chemical vapour deposition
    Akira, MIURA ; Anongsack, PASEUTH ; et al.
    2017
    academicJournal
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    Fabrication of Al2O3–Ni–CNTs nanocomposites by co-precipitation of CNTs and Ni nanoparticle on Al2O3 powder and spark plasma sintering
    Chunlong, ZHAO ; Gaiye, LI ; et al.
    2016
    academicJournal
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    Oriented growth and electrical property of LiAl5O8 film by laser chemical vapor deposition
    Chen, CHI ; Hirokazu, KATSUI ; et al.
    2016
    academicJournal
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