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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 27 (2009-09-01), Heft 5, S. 2286-2291academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008-07-01), Heft 4, S. 1363-1367academicJournalZugriff: