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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics, Jg. 41 (2023-09-01), Heft 5, S. 1-10academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics, Jg. 28 (2010-09-01), Heft 5, S. 1044-1047academicJournalZugriff: