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    Synthesis of nanoscale CNx/TiAlN multilayered coatings by ion-beam-assisted deposition
    Xiao Wei Sun ; Li, Dejun ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 26 (2008-09-01), S. 1314-1318
    Online unknown
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    Effects of argon addition on a-CNx film deposition by hot carbon filament chemical vapor deposition
    Yamazaki, Ayumi ; Aono, Masami ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 20 (2002-07-01), S. 1242-1246
    Online unknown
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    Comparison of pulsed laser deposition CNx films grown from organic and inorganic targets
    León, B. ; Soto, R. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 19 (2001-03-01), S. 499-502
    Online unknown
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    Influence of substrate bias voltage on the properties of CNx films prepared by reactive magnetron sputtering
    Hájek, Václav ; Martinu, Ludvik ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 17 (1999-05-01), S. 899-908
    Online unknown
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    Polymerization of dual ion beam deposited CNx films with increasing N content
    Zhao, X.-A. ; Ng, Y. M. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 17 (1999-03-01), S. 584-592
    Online unknown
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    Reactive magnetron sputter deposited CNx: Effects of N2 pressure and growth temperature on film composition, bonding, and microstructure
    Broitman, Esteban ; Zheng, W.T. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 14 (1996-09-01), S. 2696-2701
    Online unknown
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    Metrology of 1–10 nm thick CNx films: Thickness, density, and surface roughness measurements
    Li, Dejun ; Freire, F.L. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 21 (2003-09-01), S. L19- (3S.)
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    Structural and mechanical properties of carbon nitride CNx (0.2⩽x⩽0.35) films
    Theunissen, G. S. A. M. ; Hainsworth, Sarah V. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 14 (1996), S. 56-62
    Online unknown
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    Influence of deposition parameters on the microstructure and properties of nitrogen-doped diamondlike carbon films
    Lin, Guoqiang ; Dong, Chuang ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 28 (2010-11-01), S. 1299-1306
    Online unknown
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    Effect of substrate temperatures on amorphous carbon nitride films prepared by reactive sputtering
    Akiyoshi, Hidenobu ; Kitazawa, Nobuaki ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 26 (2008-07-01), S. 966-969
    Online unknown
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    Microstructure and properties of ultrathin amorphous silicon nitride protective coating
    Kasai, Paul H. ; Miller, Dolores C. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 21 (2003-11-01), S. 1895-1904
    Online unknown
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    Fracture resistance enhancement of diamond-like carbon/nitrogenated diamond-like carbon multilayer deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapor deposition
    Bello, I. ; Luo, Jianbin ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 19 (2001), S. 130-135
    Online unknown
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    Synthesis of hard TiN coatings with suppressed columnar growth and reduced stress
    Guruz, M. U. ; Zhou, Beizhi ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 17 (1999-09-01), S. 2915-2919
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Comparison of tribological properties of carbon and carbon nitride protective coatings over magnetic media
    Daisuke, Sawada ; Khurshudov, Andrei ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 14 (1996-09-01), S. 2935-2939
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Effects of graphite content on carbon nitride films prepared by hot carbon filament chemical vapor deposition
    Watanabe, Yoshihisa ; Kitazawa, Nobuaki ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 21 (2003-07-01), S. 1386-1388
    Online unknown
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    Low-temperature growth of low friction wear-resistant amorphous carbon nitride thin films by mid-frequency, high power impulse, and direct current magnetron sputtering
    Schmidt, Susann ; Greczynski, Grzegorz ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 33 (2015-09-01), S. 05E112
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    Analytical electron microscopy and Raman spectroscopy studies of carbon nitride thin films
    Chung, Yip-Wah ; Xi Wei Lin ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 11 (1993-05-01), S. 521-524
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    Composition profile of heat treated carbon nitride hard coatings
    Teer, D. G. ; Román, E. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 19 (2001-09-01), S. 2578-2580
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    Influence of inert gases on the reactive high power pulsed magnetron sputtering process of carbon-nitride thin films
    Greczynski, Grzegorz ; Czigány, Zsolt ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 31 (2013), S. 011503-11503
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    Interaction of alcohols with a-CH[sub x] films
    Shukla, Nisha ; Gellman, Andrew J.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 18 (2000), S. 2319-2319
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