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    Hybrid carbon nanotube-silicon complementary metal oxide semiconductor circuits
    Caldwell, Robert ; Caruso, V. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 25 (2007), S. 2577-2577
    Online unknown
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    Application of the self-aligned titanium silicide process to very large-scale integrated n-metal-oxide-semiconductor and complementary metal-oxide-semiconductor technologies
    Haken, Roger A.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 3 (1985-11-01), S. 1657-1657
    Online unknown
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    Integrated circuit diagnosis using focused ion beams
    Ward, B. W. ; Shaver, D. C.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 4 (1986), S. 185-185
    Online unknown
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    Lithography and fabrication processes for sub-100 nm scale complementary metal–oxide semiconductor
    Taur, Yuan ; Viswanathan, R. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 13 (1995-11-01), S. 2688-2688
    Online unknown
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    Application of proximity synchrotron orbital radiation lithography and deep ultraviolet phase-shifted-mask lithography to sub-quarter-micron complimentary metal oxide semiconductor devices
    Molless, A. ; Ferguson, Richard A. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 12 (1994-11-01), S. 3943-3943
    Online unknown
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sm 576 - 768
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