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    Fringe field theory and experiment for electrostatic chucking of extreme ultraviolet photomasks
    Ruan, Junru ; Govindaraju, L. ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 25 (2007), S. 38-38
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Electron-optical optimization for Gaussian, high-current, high-dose columns
    Garcia, Rudy F. ; Pearce-Percy, Henry ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, Jg. 16 (1998-11-01), S. 3206-3206
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -