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    Simplified CVD route to near-zero thickness silicon nitride films
    Arkles, Barry ; Brick, Chad ; et al.
    In: Journal of vacuum science and technology.B.Nanotechnology & microelectronics, Jg. 40 (2022), Heft 4
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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    Improved abrasion resistance of silica-based CVD thin films on polycarbonate substrates for automotive applications
    Tanaka, Sae ; Endo, Hayate ; et al.
    In: Journal of vacuum science and technology.B.Nanotechnology & microelectronics, Jg. 39 (2021), Heft 4
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
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    Incorporation of dopants in epitaxial SiC layers grown with fluorinated CVD chemistry
    Stenberg, Pontus ; Janzén, Erik ; et al.
    In: Journal of vacuum science and technology.B.Nanotechnology & microelectronics, Jg. 35 (2017), Heft 3
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Defect-mediated transport and electronic irradiation effect in individual domains of CVD-grown monolayer MoS~2
    Durand, Corentin ; Zhang, Xiaoguang ; et al.
    In: Journal of vacuum science and technology.B.Nanotechnology & microelectronics, Jg. 33 (2015), Heft 2, S. 02B110
    serialPeriodical
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
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