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    Developing a conductive oxygen barrier for ferroelectric integration
    JOHNSON, J. A ; LISONI, J. G ; et al.
    In: Materials for Advanced Metallization, MAM 2003: Proceedings of the European Workshop on Materials for Advanced Metallization 2003, La Londe Les Maures, France, March 9-12, Jg. 70 (2003), Heft 2-4, S. 377-383
    Konferenz
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