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    Er-doped Al2O3 thin films deposited by high-vacuum chemical vapor deposition (HV-CVD)
    Luo, Y. ; Hoffmann, Patrik ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 146 (2008), S. 35-40
    Online unknown
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    Microcrystalline silicon thin film transistors obtained by hot-wire CVD
    Voz, Cristobal ; Marsal, Lluis F. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, 2000, S. 526-529
    Online unknown
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    Amorphous silicon solar cells made with SnO2:F TCO films deposited by atmospheric pressure CVD
    Finger, Friedhelm ; Dagkaldiran, U. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, 2009-03-01, S. 6-9
    Online unknown
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    Fabrication of amorphous silicon nanocones by bias-enhanced microwave plasma CVD
    Chaisitsak, Sutichai
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 137 (2007-02-01), S. 205-209
    Online unknown
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    A correlation between microstructure, composition and optical transparency of CVD-ZnS
    Drezner, Y. ; Hefetz, M ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 87 (2001-10-01), S. 59-65
    Online unknown
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    Electronic properties of highly P and B doped thin Si layers grown by ECR–CVD
    Fuhs, Walther ; Kanschat, P. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, 2000, S. 232-237
    Online unknown
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    Defect formation in SiGe/Si structures grown on GaAs by CVD techniques utilizing a Si:H template layer
    Christou, Aris ; Al-Sheikhly, Mohamad ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 67 (1999-12-01), S. 70-75
    Online unknown
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    Super self-aligned technology of ultra-shallow junction in MOSFETs using selective Si1−Ge CVD
    Murota, Junichi ; Sakuraba, Masao ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 89 (2002-02-01), S. 120-124
    Online unknown
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    Laser annealing of zinc oxide thin film deposited by spray-CVD
    Basu, S ; Bhaumik, G.K ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 52 (1998-03-01), S. 25-31
    Online unknown
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    Photoluminescence properties of nanocrystalline AlN layers grown by pulse plasma assisted CVD
    Siwiec, J. ; Olszyna, Andrzej ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 50 (1997-12-01), S. 170-173
    Online unknown
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    Preparation of boron nitride thin films by microwave plasma enhanced CVD, for semiconductor applications
    Thévenin, P. ; Bath, A. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 46 (1997-04-01), S. 101-104
    Online unknown
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    Some investigations on HF-CVD diamond using scanning tunneling microscopy
    Sumant, Anirudha V. ; Godbole, V.P. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 41 (1996-11-01), S. 267-272
    Online unknown
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    Study of the unipolar bias recharging phenomenon in the nonvolatile memory cells containing silicon nanodots
    Turchanikov, V.I. ; Lysenko, V. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, 2005-12-01, S. 517-520
    Online unknown
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    Epitaxially grown β-SiC on Si(100) and Si(111) substrates by low pressure chemical vapour deposition
    Christoph Dr Scholz ; Weber, Thomas ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 11 (1992), S. 317-319
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    Growth of high-quality relaxed SiGe films with an intermediate Si1−yCy layer for strained Si n-MOSFETs
    Chen, P.S. ; Liao, Kuan-Hsun ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 130 (2006-06-01), S. 194-199
    Online unknown
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    Accurate electrical activation characterization of CMOS ultra-shallow profiles
    Loo, Roger ; Defranoux, C. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, 2004-12-01, S. 166-173
    Online unknown
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Tungsten silicide contacts to polycrystalline silicon and silicon–germanium alloys
    Gamble, Harold ; McNeill, David ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, 2004-12-01, S. 223-227
    Online unknown
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Anisotropic magnetic centers and conduction electrons in hydrogenated microcrystalline silicon
    Morigaki, Kazuo ; Fujita, Y. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 103 (2003-09-01), S. 37-44
    Online unknown
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Ge instabilities near interfaces in Si/SiGe/Si heterostructures
    Schmeißer, Dieter ; Yamamoto, Y. ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 101 (2003-08-01), S. 208-211
    Online unknown
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    Improvement of thin silicon on sapphire (SOS) film materials and device performances by solid phase epitaxy
    Nie, Ji-Ping ; Liu, Zhong-Li ; et al.
    In: Materials Science and Engineering: B, Jg. 72 (2000-03-01), S. 189-192
    Online unknown
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