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In: Materials Science in Semiconductor Processing, Jg. 27 (2014-11-01), S. 1057-1064academicJournalZugriff:
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In: Materials Science in Semiconductor Processing, Jg. 26 (2014-10-01), S. 336-342academicJournalZugriff:
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In: Materials Science in Semiconductor Processing, Jg. 19 (2014-03-01), S. 130-135academicJournalZugriff: