Zum Hauptinhalt springen
UB Hagen

Suchergebnisse

UB Katalog

Artikel & mehr
3 Treffer

Suchmaske

Suchtipp für den Bereich Artikel & mehr: Wörter werden automatisch mit UND verknüpft. Eine ODER-Verknüpfung erreicht man mit dem Zeichen "|", eine NICHT-Verknüpfung mit einem "-" (Minus) vor einem Wort. Anführungszeichen ermöglichen eine Phrasensuche.
Beispiele: (burg | schloss) -mittelalter, "berufliche bildung"

Das folgende Suchfeld wird hier nicht unterstützt: "Signatur / Strichcode".

Suchergebnisse einschränken oder erweitern

Aktive Suchfilter

Erscheinungszeitraum

Mehr Treffer

Weniger Treffer

Gefunden in

Art der Quelle

Schlagwort

Sprache

3 Treffer

Sortierung: 
  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    CMOS compatible alignment marks for the SCALPEL proof of lithography tool
    FARROW, R. C ; WASKIEWICZ, W. K ; et al.
    In: Micro- and Nano- Engineering 98, MNE. Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication, September 22-24 1998, Leuven, Belgium, Jg. 46 (1999), Heft 1-4, S. 263-266
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Study of thin gate oxide etching during plasma patterning of 0,1 μm Si gates
    DESVOIVRES, L ; BONVALOT, M ; et al.
    In: Micro- and Nano- Engineering 98, MNE. Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication, September 22-24 1998, Leuven, Belgium, Jg. 46 (1999), Heft 1-4, S. 295-298
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    Effect of develop time on process windows in sub-half micron optical lithography
    ARTHUR, G ; MARTIN, B ; et al.
    In: Micro- and Nano- Engineering 98, MNE. Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication, September 22-24 1998, Leuven, Belgium, Jg. 46 (1999), Heft 1-4, S. 77-80
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -