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In: Microelectronic Engineering, Jg. 244-246 (2021-05-01)academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 120 (2014-05-25), S. 41-46academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 109 (2013-09-01), S. 168-171academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic Engineering, Jg. 106 (2013-06-01), S. 125-128academicJournalZugriff: