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    Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates
    ELGAID, Khaled ; MCCLOY, David A ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 417-421
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Power performance and scalability study of ALGaAs/GaAs double-recessed pseudomorphic high electron mobility transistors on unthinned substrate for coplanar waveguide circuit applications
    CHEELEONG, TAN ; RADHAKRISHNAN, K ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 81 (2005), Heft 1, S. 22-28
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Fabrication of dielectric lens supported, antenna coupled, warm-carrier devices
    YASUOKA, Yoshizumi ; SUZUKI, Kenji ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 496-501
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Superconducting coplanar nanolines with 50 nm linewidth
    WEIMANN, Th ; HINZE, P ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 363-368
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Low-loss microwave interconnections by using polymeric based coplanar waveguides on low resistivity silicon substrates
    MARCELLI, Romolo ; CATONI, Simone ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 85 (2008), Heft 2, S. 425-431
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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