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In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 417-421KonferenzZugriff:
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In: Microelectronic engineering, Jg. 87 (2010), Heft 11, S. 2247-2252academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic engineering, Jg. 85 (2008), Heft 2, S. 425-431academicJournalZugriff:
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In: Microelectronic engineering, Jg. 86 (2009), Heft 3, S. 314-320academicJournalZugriff: