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    Development and characterization of cyclic olefin copolymer thin films and their dielectric characteristics as CPW substrate by means of Terahertz Time Domain Spectroscopy
    Diaz-Albarran, L.M. ; Lugo-Hernandez, E. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 191 (2018-05-05), S. 84-90
    academicJournal
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    RF MEMS capacitive switch on semi-suspended CPW using low-loss high-resistivity silicon substrate : International conference on micro and nano engineering
    Fernandez-Bolanos, M. ; Perruisseau-Carrier, J. ; et al.
    In: MICROELECTRONIC ENGINEERING, Jg. 85 (2008), Heft 5-6, S. 1039-1042
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Behaviour of CPW and TFMS lines at high temperature for RF applications in sub-45 nm nodes
    Roda Neve, C. ; Farcy, A. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 87 (2010), Heft 3, S. 324-328
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    RF MEMS capacitive switch on semi-suspended CPW using low-loss high-resistivity silicon substrate
    Dainesi, P. ; Perruisseau-Carrier, Julien ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 85 (2008-05-01), S. 1039-1042
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
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    academicJournal
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    Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates
    ELGAID, Khaled ; MCCLOY, David A ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 417-421
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Characterization and modelling of switchable stop-band filters based on RF-MEMS and complementary split ring resonators
    GIL, I ; MORATA, M ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 88 (2011), Heft 1, S. 1-5
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A micromachining technology for integrating low-loss GHz RF passives on non-high-resistivity low-cost silicon MCM substrate
    ZHENGZHENG, WU ; XINXIN, LI
    In: Microelectronic engineering, Jg. 87 (2010), Heft 11, S. 2247-2252
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Power performance and scalability study of ALGaAs/GaAs double-recessed pseudomorphic high electron mobility transistors on unthinned substrate for coplanar waveguide circuit applications
    CHEELEONG, TAN ; RADHAKRISHNAN, K ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 81 (2005), Heft 1, S. 22-28
    academicJournal
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    academicJournal
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    academicJournal
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A micromachining technology for integrating low-loss GHz RF passives on non-high-resistivity low-cost silicon MCM substrate
    Wu, Zhengzheng ; Li, Xinxin
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 87 (2010-11-15), Heft 11, S. 2247-2252
    academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Power performance and scalability study of AlGaAs/GaAs double-recessed pseudomorphic high electron mobility transistors on unthinned substrate for coplanar waveguide circuit applications
    Tan, Cheeleong ; Radhakrishnan, K. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 81 (2005-07-01), Heft 1, S. 22-28
    academicJournal
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    academicJournal
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    academicJournal
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    academicJournal
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    Fabrication of dielectric lens supported, antenna coupled, warm-carrier devices
    Yasuoka, Yoshizumi ; Suzuki, Kenji ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 73/74 (2004-06-01), S. 496-501
    academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Superconducting coplanar nanolines with 50 nm linewidth
    Weimann, Th. ; Hinze, P. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 67/68 (2003-06-01), S. 363-368
    academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A 50–100 GHz ohmic contact SPDT RF MEMS silicon switch with dual axis movement.
    Sim, Sung-min ; Lee, Yeonsu ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 162 (2016-08-16), S. 69-74
    academicJournal
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    Fabrication process and characterization of suspended graphene membranes for RF NEMS capacitive switches.
    Moldovan, Clara F. ; Vitale, Wolfgang A. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 145 (2015-09-01), S. 5-8
    academicJournal
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md 768 - 992
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