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In: Micromachining and microfabrication process technology VII (San Francisco CA, 22-24 October 2001), 2001, S. 477-484KonferenzZugriff:
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In: Micromachining and microfabrication process technology VII (San Francisco CA, 22-24 October 2001), 2001, S. 210-219KonferenzZugriff: